投資要點：

 

    2022 年4 月國內(nèi)主流晶圓廠共開標108 臺工藝設備，上海積塔為擴產(chǎn)主力。我們以長江存儲、華力集成龍頭股、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海積塔、中車時代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國大陸主要的IDM 或代工企業(yè)為統(tǒng)計樣本，通過中國國際招標網(wǎng)對上述晶圓廠中標情況進行梳理。2022 年4 月國內(nèi)10 家主流晶圓廠共開標108 臺工藝設備，主要來自上海積塔（78 臺）、華虹無錫（20臺）、福建晉華（5 臺）、時代電氣（3 臺）、華力微電子（1 臺）、華力集成（1 臺）。

 

    22 年1-4 月合計開標401 臺工藝設備概念股，主要來自華虹無錫（268 臺）、上海積塔（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺）。

 

    爐管、刻蝕設備為2022 年4 月國內(nèi)晶圓廠主要開標設備。2022 年4 月開標的108臺設備龍頭股中，按照不同工藝設備開標數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設備（30 臺）、刻蝕設備（29 臺）、前道檢測設備（10 臺）、清洗設備（10 臺）、干法去膠設備（9臺）、沉積設備（8 臺）、離子注入機（4 臺）、涂膠顯影設備（4 臺）、后道測試設備（2 臺）、光刻機（1 臺）、拋光設備（1 臺）。2022 年1-4 月開標的401 臺設備中，按照不同工藝設備開標數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設備（112 臺）、刻蝕設備（61 臺）、沉積設備（61 臺）、前道檢測設備（48 臺）、后道測試設備（35 臺）、離子注入機（18 臺）、清洗設備（17 臺）、拋光設備（15 臺）、涂膠顯影設備（14臺）、干法去膠設備（14 臺）、光刻機（6 臺）。

 

    受國內(nèi)刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設備廠家拉動，中標國產(chǎn)率持續(xù)提升。2022年4 月中國大陸設備中標數(shù)量為67 臺，國產(chǎn)率達62%。2022 年1-4 月開標的401臺設備中，源自中國大陸廠家制造的設備共計97 臺，占比達24.2%。分晶圓廠看，2022 年1-4 月，上海積塔設備國產(chǎn)率超40%；分設備看，2022 年1-4 月國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設備（國產(chǎn)率71%）、刻蝕設備（51%）、清洗設備（41%）、離子注入機（39%）、拋光設備龍頭股（27%）、涂膠顯影設備（21%）。聚焦4月份國內(nèi)中標廠商，北方華創(chuàng)（中標33 臺）、中微公司（13 臺）、屹唐（10 臺）、芯源微（7 臺）、上海精測概念股（1 臺）、盛美上海（1 臺）排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設備環(huán)節(jié)的強勢地位。

 

    投資建議：重點關注國內(nèi)半導體設備龍頭北方華創(chuàng)（002371）；高端刻蝕設備龍頭中微公司（688012）；持續(xù)突破高端后道測試機的長川科技（300604）、華峰測控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環(huán)節(jié)的國內(nèi)半導體設備小巨人芯源微（688037）；半導體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國產(chǎn)清洗設備領軍企業(yè)盛美上海（ 688082）、至純科技（ 603690）； 離子注入機領先企業(yè)萬業(yè)企業(yè)（600641）；半導體環(huán)保設備領先企業(yè)盛劍環(huán)境（603324）等。

 

    風險提示：晶圓廠擴產(chǎn)不及預期、設備概念股公司研發(fā)不及預期、中美貿(mào)易摩擦風險。

 

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